Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

ГОСТ 22558-89 Язык программирования КОБОЛ ГОСТ 4401-81 Атмосфера стандартная. Параметры ГОСТ 17381-84 Калибры для упорной резьбы. Исполнительные размеры ГОСТ 5306-83 Пиломатериалы и заготовки. Таблицы объемов ГОСТ 25158-82 Протяжки для шлицевых отверстий с эвольвентным профилем диаметром от 15 до 9О мм модулем от 1 до 2,5 мм с центрированием по наружному диаметру. Конструкция и размеры ГОСТ 27831-88 Язык программирования АДА ГОСТ 34.913.4-91 Информационная технология. Локальные вычислительные сети. Метод маркерного доступа к шине и спецификация физического уровня ГОСТ 16350-80 Районирование и статистические параметры климатических факторов для технических целей