Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора

Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination
■? 1. 1.1. 2.

1,4
30

z.z. 2.2.1.

2.2.2. 2.2.3. 2.2.3.1. 2.2.3.2. 2.3. 2.3.1.
2.3.2.

2-10“4 5- 1 • 10 —3 5- 2.3.3. (

3. 3.1. —4, 3.2. 3.2.1.
0,50 3.3. 3.3.1. 20 3.3.2. 2 3.4. 3.4.1.

3.4.2.

1,5* 1 3.4.3. /71 — , (

^1+^2 4. 4.1. 4G

4.2.1. 4.2.2. 4.3. 4.3.1.

4.4. 4.4.1. 100 -

4.4.2.

1,040— 6
2,040— 7
3,040— 8

1-10~ 5

140 -6

140- 4

3.3.1.
(13 3.3.2.

2 3.3.3.

(

1 — 3 — 6 — (