Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

НАСОСЫ ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ

ДИФФУЗИОННЫЕ ТИПА НВД

ТРЕБОВАНИЯ К КАЧЕСТВУ АТТЕСТОВАННОЙ ПРОДУКЦИИ

ГОСТ 5.1150-71

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ

СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР

Москва
РАЗРАБОТАН Калининградским машиностроительным заводом
Руководитель предприятия Чураков Т. Г.
Руководитель и исполнитель темы Беляев В. А.
ПОДГОТОВЛЕН К УТВЕРЖДЕНИЮ Управлением машиностроения Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР
Зам. начальника Управления Лесников М. В. Ст. инженер Шульгин А. И.
Отделом химического и нефтяного машиностроения Всесоюзного' научно-исследовательского института по нормализации в машино­строении (ВНИИНМАШ)
Зав. отделом Максимовский Б. В.
Ст. инженер Симакова Н. М.
УТВЕРЖДЕН Государственным комитетом стандартов Совета Мини­стров СССР 22 октября 1971 г. (протокол № 156)
Зам. председателя отраслевой научно-технической комиссии Госстандарт» СССР член Комитета Шахурин В. Н.
Члены комиссии: Григорьев В. К., Климов Г. Н., Доляков В. Г., Златко» вич Л. A.v Федин Б. В.
ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитет» стандартов Совета Министров СССР от 15 декабря 1971 г. № 2033

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

НАСОСЫ ВЫСОКО ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ

ТИПА НВД

Требования к качеству аттестованной продукции

Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 15/XII 1971 г. № 2033 срок введения установлен
c 1 I 19*72 r.
Настоящий стандарт распространяется на высоковакуумные диффузионные насосы типа НВД с быстротой откачки 0,15 и 0,25 м3/с (150 и 250 л/с). Насосы предназначены для откачки воздуха, неагрессивных газов, паров и паро-газовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений во взрывобезопасном помещении при температуре окружающего воздуха от 10 до 30°С, относительной влажности 65± 15% и атмосферном давлении 750±30 мм рт. ст.
Насосы должны применяться в линиях вакуумной откачки и алюминирования при производстве цветных и черно-белых кине­скопов, а также в других вакуумных системах технологического оборудования.
Данные насосы могут работать только совместно с форваку­умным насосом.
Указанным насосам в установленном порядке присвоен Госу­дарственный знак качества.

1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ И РАЗМЕРЫ

1.1. Основные параметры и размеры насосов должны соответ­ствовать указанным в таблице.
Параметры и размеры
Быстрота откачки, мя/с (л/с)

0,15 (150)
0,25 (250)
1. Рабочий диапазон давлений,
мм рт. ст.
Ы0“5—2-Ю-3
1.10“5—2-Ю'3
2. Предельное остаточное давление, мм рт. ст., не более
2-Ю“6
2.10*6
3. Быстрота откачки воздуха, м3/с, не менее:
с ловушкой
0,8(80)
0,12(120)
без ловушки
0,15(150)
0,25(250)
4. Наибольшее выпускное давление, мм рт. ст., не менее
5. Диаметр условного прохода патруб­ка, мм:
впускного
0,5
0,5

80
100
выпускного
20
20
6. Количество рабочей жидкости, см3
100
130
7. Мощность нагревателя, Вт (пре­дельное отклонение ±10 Вт)
450
500
8. Расход воды на охлаждение, м3/ч
0,015—0,025
0,05
9. Время охлаждения насоса, мин: без форсированного охлаждения
20
20
с форсированным охлаждением
7
7
10. Питание насоса:
ток переменной частоты, Гц
50
50
напряжение, В
220
220
11. Габаритные размеры, мм
295X200X350
320X210X420
12. Масса, кг, не менее
8,8
12

Пример условного обозначения высоковакуум­ного диффузионного насоса с быстротой откачки воздуха 0,15 м3/с (150 л/с)
Насос НВД—0,15 ГОСТ 5.1150—71
То же, с быстротой откачки 0,25 м3/с (250 л/с)
Насос НВД—0,25 ГОСТ 5.1150—71
1.2. Тип рабочей жидкости для насосов — ПФМС-2/5Л.

2. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

2.1. Высоковакуумные диффузионные насосы должны изготов­ляться в соответствии с требованиями настоящего стандарта по технической документации, утвержденной в установленном по­рядке.
2.2. Материалы и комплектующие изделия должны соответ­ствовать действующим стандартам и технической документации, утвержденной в установленном порядке.
2.3. На внутренних поверхностях, образующих вакуумные по­лости, не допускаются трещины, задиры и раковины. Наружные поверхности не должны иметь повреждений, следов коррозии, окалины и грязи.
2.4. Сварные швы должны отвечать требованиям действующих стандартов и технической документации, утвержденной в уста­новленном порядке.
2.5. Корпусы насосов должны быть вакуумноплотными. Нате­кание через неплотности не должно быть более 3 • 10~2 л • мк рт. ст./с.
2.6. Электронагреватели не должны иметь обрывов, полного или частичного замыкания витков спирали, сопротивление изоля­ции должно быть не менее 0,1 МОм.
2.7. Изоляция электронагревателей должна выдерживать в течение 1 мин переменный ток напряжением 1000 В частотой 50 Гц.
2.8. Система охлаждения насоса должна быть герметичной, течь воды не допускается.
2.9. Время разогрева насосов до рабочего состояния должно быть не более 15 мин.
2.10. Насосы должны обеспечивать предельное остаточное давление не более 2 • 10”6 мм рт. ст.
2.11. Наибольшее выпускное давление должно быть не менее 0,5 мм рт. ст.
2.12. После 24-часовой работы насосов и последующего напол­нения их воздухом (с момента повторного включения электро­нагревателя) насосы должны обеспечивать следующие остаточ­ные давления, мм рт. ст., не более:
5-Ю—4 — через 15 мин,
2.13. 10’5 — через 25 мин,
2.14. 10~6 — через 2 ч 30 мин.
2.15. Для насосов устанавливаются следующие показатели надежности и долговечности:
срок службы до списания — не менее 10 лет,
суммарный ресурс — не менее 20000 ч,
наработка на отказ — не менее 3000 ч,
коэффициент технического использования — 0,86.
Данные показатели обеспечиваются при условии соблюдения потребителем правил эксплуатации и требований технической документации, утвержденной в установленном порядке.
2.16. Лакокрасочные покрытия должны наноситься на поверх­ность корпуса ровным слоем без пузырчатостей и подтеков.
2.17. В комплект насоса должны входить:
запасные части согласно технической документации, утверж­денной в установленном порядке; паспорт-формуляр; техническое описание и инструкция по эксплуатации.

3. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ

3.1. Готовые насосы должны быть приняты техническим кон­тролем предприятия-изготовителя.
3.2. Для проверки качества изготовленных насосов и их соот­ветствия требованиям настоящего стандарта предприятие-изгото­витель обязано проводить приемо-сдаточные и периодические испытания в соответствии с технической документацией, утверж­денной в установленном порядке.
3.3. Каждый насос подвергают приемо-сдаточным испытаниям для проверки:
сопротивления изоляции электронагревателей;
электрической прочности изоляции;
вакуумной прочности корпуса насоса.
При несоответствии насоса хотя бы одному пункту требова­ний настоящего стандарта насос бракуется.
3.4. Периодическим испытаниям на определение времени ра­зогрева насоса до рабочего состояния и измерение предельного остаточного давления должен проверяться каждый десятый на­сос, прошедший приемо-сдаточные испытания, а для измерения быстроты откачки, наибольшего выпускного давления и промежу­точных остаточных давлений испытаниям должен подвергаться каждый пятидесятый насос.
Если в процессе периодических испытаний обнаружено несо­ответствие насоса хотя бы одному требованию настоящего стан­дарта, насос бракуется; при несоответствии требованиям двух насосов бракуется вся партия.

4. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

4.1. Каждый насос должен проходить испытания на пред­приятии-изготовителе. Насосы испытывают на стенде в полном объеме при номинальных значениях согласно технической доку­ментации, утвержденной в установленном порядке.
4.2. Изготовленные насосы должны быть проверены на соот­ветствие технической документации и требованиям настоящего стандарта.
4.3. Показатели надежности и долговечности должны прове­ряться не менее одного раза в два года эксплуатационными испытаниями или на основании статистических данных о насосах согласно технической документации, утвержденной в установлен­ном порядке.
4.4. Сопротивление изоляции электронагревателей (п. 2.6) замеряют омметром между наружными металлическими (не то­коведущими) элементами и выводными контактами электрона­гревателей.
4.5. Электрическую прочность изоляции (п. 2.7) проверяют подключением переменного тока напряжением 1000 В и частотой 50 Гц к наружным металлическим (не токоведущим) элементам и выводным контактам электронагревателей.
4.6. Герметичность системы охлаждения (п. 2.8) определяют пробным 10-минутным пуском воды давлением 3 кгс/см2. Обна­руженные течи в сварных швах должны быть устранены завар­кой, в разъемных вакуумных соединениях — затяжкой гаек, сме­ной прокладок.
4.7. Качество изготовления внутренних и наружных поверх­ностей (п. 2.3), сварных швов (п. 2.4) и лакокрасочных покрытий (п. 2.15) проверяют наружным осмотром.
4.8. Вакуумную плотность (п. 2.5) насоса проверяют мано­метрическим методом, места натекания определяют масс-спектро­метрическим методом с помощью гелиевого течеискателя ПТИ-7. Перед проверкой корпус насоса должен быть обезжирен, обезво­жен и просушен.
4.9. Предельное остаточное давление (п. 2.10) определяют в измерительной камере после выхода насоса на рабочий режим методом установления равновесного давления. Давление счита­ется установившимся, если оно в течение 3 ч не меняется в пре­делах ошибки измерительного прибора. Эта величина считается предельным остаточным давлением.
4.10. Быстроту откачки измеряют методом постоянного давле­ния. (Создание определенного потока газа, при котором устанав­ливается некоторое постоянное не изменяющееся во времени дав­ление на входе -в насос.)
4.11. Наибольшее выпускное давление (п. 2.11) измеряют манометрическим преобразователем, установленным на выходном патрубке насоса. Измерительную камеру откачивают до давле­ния в 10 и более раз меньшего чем заданное, при котором необ­ходимо замерить наибольшее выпускное давление. Напуском воздуха в измерительной камере устанавливается давление от З* 10"1—6- 10”5 мм рт. ст. Воздух напускают до увеличения дав­ления в измерительной камере на 50% по отношению к установ­ленному. Давление, измеренное в этот момент на выходном пат­рубке, принимается за наибольшее выпускное д