Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

APT

?
$ 2 4*^ < •'< '*• •• ♦?
5.2105—73
c 01.09. 1973 r.
(

1. 1.1. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 1.2.
15'0 0

HOOD 0090

0000 mo
205
320

2. 2.1. 2.2. 2.3. 2.4. 2.5. 2.6. 2.7. 2.8. 2.9. 2.10. 2.11. 2.12. 2,13. 2.14. 2.15. 2.16. 2.17. 2.18. 2.19. 2.20. 2.21. 2,22. 2.23. 2.24. 2.25. 3. 3.1. а?) б?) 3.2. а?) б?) в?) г?) 4. 4.1. 4.2. 4.3. 4.4. 4.5. 5. 5.1. 5.2. 5.3. 5.4. 5.5. 5.6.

5.7. 5.8. 5.9. 5.10. 5.11. 5.12. 5.13. 5.14. 5.15. 5.16. 5.17. 5.18. 5.19. 5.20. 5.21. 5.22. 5.23. 5.24. 5.25. 5.26. 5.27. 5.28. 5.29. 5.30. 5.31. 5.32. 6. 6.1. 6.2. 6.3. 6.4. 6.5.

6.6. 6.7. 7. 7.1. 8. 8.1. 8.2. 8.3. 8.4.

0,75