Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из мнокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

585 переглядів

Зберегти

Завантажити документ

Формат .docx · доступно зареєстрованим користувачам

Увійти та завантажити

Текст документа

1 2 3 TJ UZ UA 4 5 1 2 3 4 5 - -

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Single-crystal silicon nanometer range relief measures.
Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
1 2 3 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.7 3.8 3.9 3.10 3.11 3.12 3.13 4 4.1 4.2

4.3 4.4 - - - 5 5.1 5.2 5.3

(100)
■?

[1]

Схожі документи

ГОСТ 22558-89 Язык программирования КОБОЛ ГОСТ 4401-81 Атмосфера стандартная. Параметры ГОСТ 17381-84 Калибры для упорной резьбы. Исполнительные размеры ГОСТ 5306-83 Пиломатериалы и заготовки. Таблицы объемов ГОСТ 25158-82 Протяжки для шлицевых отверстий с эвольвентным профилем диаметром от 15 до 9О мм модулем от 1 до 2,5 мм с центрированием по наружному диаметру. Конструкция и размеры ГОСТ 27831-88 Язык программирования АДА ГОСТ 34.913.4-91 Информационная технология. Локальные вычислительные сети. Метод маркерного доступа к шине и спецификация физического уровня ГОСТ 16350-80 Районирование и статистические параметры климатических факторов для технических целей