ГОСТ 9847-79
Завантажити документ
Формат .docx · доступно зареєстрованим користувачам
Издание официальное
Москв
а
УДК 531.715:006.354 Группа П41
Типы и основные параметры
Optical instruments for surface roughness
parameters measuring. Basis parameters
and types
ОКП 44 3160
Дата введения 01,01,81
Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее — приборы), действие которых основано на принципе одно- временного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров Rmax, Rz и S по ГОСТ 2789—73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.
Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1—2.2.3, 2.4.1—2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования — рекомендуемыми.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
Типы приборов устанавливаются следующие:
ПТС — прибор теневого сечения;
ГІСС — прибор светового сечения;
ААИИ — микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ — микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием волос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Перепечатка воспрещена
(<5 Издательство стандартов, 1979 (С'> Издательство стандартов, 1993 Переиздание с изменениями
2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.
Таблица 1
Тип прибора
Параметр шероховатости
Пределы измерений
ПТС
4І0—320 мкм
S
0,2—1,6 мм
ПСС
Rz, Rmax
0,5—40 мкм
s
0,QQ2,—0,5 мм
МИИ
\Rz, R m a x
0,05—0,8 мкм
s
0,002—0,05 мм
мпи
\Rz, R ж a x
0,0&—0,8 мкм
Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1—2.2.3.
Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.
[Таблица 2
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм
Линейное поле зрения, мм, не менее
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее
Апертура объектива
Общее 'увеличение микроскопа, крат, не более
От 40 до 3'20
8
1
0,03
32
OJ05
32
От 10 до 40
2.5
4
0,1
80
0,12
60
10,15
60
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм
Линейное поле зрения, мм, не менее
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее
‘Апертура юбъектива
Общее увеличение микроскопа, крат, не более
От 4 до ГО
0,8
1'0
0.2
0,3
200
ІІ60
От 1,6 до 4
0,8
12,5
0,4
0,46
260
200
От 0,5 до 1,6
0,25
за
0,5
0.6
750'
620
2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.
2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.
2.2.3. Отклонение, от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.
2.3. 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).
2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1—2.4.3.
Таблица б
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм
Линейное поле зрения, мм, не менее
Апертура объектива
Общее увеличение микроскопа, крат, не более
От 0,1 до 0,8
0,25
0,3
400
0,5;
0,65
670
От 0,06 до 0,4
0,25
0,85;
0,915
1Г2Ю
От 0,05 до 0,1
0,08
0,95;
1,05
250®
2.4.1. Искривление интерференционных полос в иоле зрения В направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона, измерения от 0,05 до 0,1 мкм.
2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.
2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения — 2 нм.
2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.
Таблица 6
Пределы измерения параметров Rz и Rmax, мки
Наименование параметра
от .0,1 до 0,8 от 0,05 до 0,5
300
500
&0
30
0,35
0,2
5
3
Апертура объектива, не менее
Линейное поле зрения, мм, не менее
Общее увеличение прибора, не менее
Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы ДЛЯ А.П, нм/мм, не более
Предел разрешения диспергирующей системы для Хп, нм, не более
Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения
Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более
2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.
2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру Rmax на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.
Таблица 7
Диапазон измерения
Базовая длина, мм
Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %, ДЛЯ ТИ11О1.
Предел донускае- ,мого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов
Предел допускаемой суммарна, погрешности среднего трех измерений, %, для типов
параметра
^тах’ мкм
Св.
160
ДО
320
8
12, ,0 •
0,5
2,5
Св.
80
ДО
160
8
2,5
1,0
3,5
Св.
40
ДО
80
8
3,0
1,7
5,0
Св.
30
ДО
00
2,5
3,2
1,7
5J5
Св.
120
до
30
2,5
3,6
2J0
6,5
Св.
.1'0
ДО
20
2,5
4,0
3,5
8,5
Св.
6,3
до
40
0,8
6,0
14,6
40,0
Св.
3,2
ДО
6,3
0,8
7,0
6,6
44,0
Св.
1,6
ДО
3,2
0,8
9,0
8,0
30,0
Св.
'0,63
ДО
1,6
0,25
1I2J0
10,0
04,0
Св.
0,5
до
0,63
0,26
16,0
112,0
30,0
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МГІИ, определяемые по параметру Rmax, не должны превышать значений, указанных в табл. 8.
Таблица 8
Тип прибора
Диапазон измерения параметров «тах> мкм
Базовая длина, мм
Апертура объектива
Предел допускаемой систематической погрешности, %
Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, %
Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, %
МИИ
Св. 0,4 до 0,8
0,25
0,3
ЕЮ
5
24
От 0,5 до О,®
14
5
18
От 0,85 до 0,95
10
5
15
мпи
0,5
14
5
18
МИИ
Св. 10,1 до 0,4
0,25
От 0,5 до 0,65
30
40
40
От 0,86 до 1,26
00
40
30
мпи
0,5
18
ПО
30
МИИ
Св. 0,05 до 0,1
10,08
От 0,95 до 1,25
30
20
50
мпи
0,5
40
20
35
Справочное
1. (Исключен, Изм. № 1).
2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС-увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.
А. Н. Кузнецов, А. А. Кучин
2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 № 3261
3. Срок проверки — 1995 г., периодичность — 5 лет
Обозначение НТД. ни который
дана ссылка
5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 № 551
6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3—87, 7—91)
Редактор Л. Д. Курочкина
Технический редактор В. Н. Прусакова
Корректор В. М. Смирнова
Сдано в набор. 19.01.95. Поди, в печ. 23.03 93. Уел печ. л. 0.5 Усл. кр <>тг 0.5.
Уч.-изд. л. 0,45. Тир. 1063 эка.'
Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 10/076, Москва. Колодезный п.*р , 14.
Тип. «Московский печатник». Москва. Лялин пер.. 6 Зак 36