Покрытия тонкопленочные металлические. Нанесение методом термического испарения в вакууме. Типовой технологический процесс

ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ

ПОКРЫТИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ. НАНЕСЕНИЕ МЕТОЛОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ. Типовой технологический процесе
ОСТ 92*0962-75
Издание официальное

ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ

ПОКРЫТИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ.

Нанесение методом термического испарения ОСТ 92-0962-75 в вакууме. Типовой технологический пронесе

І.І» Помещение додано быть чистш (запыленность на toes
0,5 мг/м3), светлым (освещенность 350-400 лк) и иметь общую пжош вытяжную вэнтидацна. Температура в помащенж должна быть (20*10/ °0 1
при относительной влажности. воздуха не выше 60 %, J
1.1. Поверхности стен и потолков доданы быть гладкими с адавдами ] округлениями в местах стыка и окрашены эмалями светлых тонов. • J
1.3. Полы должны быть жшоничнжи6 стойкими к ws кислотам и \
1.4. Двери доданы быть гладами (бесфиевчатьйш) оте^іяшшми ж иметь резиновые уплотнения.'
1.5. Вое трубопровода доданы иметь глянцеву® ловврдаостъг
1.6. В помещении запрещается проведать работу связанные е образованием механических загрязнэккй. .
1.7. При выполнении всех без исклтаешя операций в процессе
. нанесения и контроля покрытий необходимо пользоваться чистыми
. хлопчатобумажными перчатками по ГОСТ 5007-87,» бедами халатами по ГОСТ 12.4.131-83 ии до ГОСТ 12.4.132-83 и обувью по ГОСТ XX35-^5j 1.8. Расчет норм расхода серебра и золота должек дроинводаьоя по
‘ методике, приведенной s приложении I.
1.9. Расчет норм расхода этилового спирта должен производиться по Рд 92-02'90-90.
1.10. Параметр шероховатости поверхностей, на которые наносятся покрытия, должен быть Sa 0,63 иш по ГОСТ 2789-73.
1.11. фи необходимости защиты металлических деталей от коррозии следует применять покрытия по ГОСТ 9.303-84, ОСТ 92-Х478-78 д GQT 92-9498-8Х5 . после чего на над нанести подслой лада шее фторо­пласта по технологии настоящего стандарта.
£
І
- ... .. . .. _ _ j
Зяк. 27S-~§5. Тмр, iPOOt?

бОбК ф. н
ОСТ 92-0962-75 Стр.3

2. ПОДГОТОВКА ПОВЕРХНОСТИ

2.1. Поверхности металлических деталей, на которые наносится по­крытие, подвергаются механической полировке до параметра шерохо­ватости Ra < 0,63 мкм.
2.2. Поверхности деталей из стекла (в т.ч. пластин стеклянных по ЖЦМИ.755482.002 ТУ) и полимерных материалов, а также деталей с нане­сенным подслоем дополнительной механической обработке не подлежат.
2.3. Поверхности покрываемых деталей обезжирить бензином (нефрасом С2-80/120) по ТУ' 38.401-67-108-92 посредством протирки салфет­ками из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков по ГОСТ 4644-75 (условное обозначение 361).
Детали из стекла поместить в сосуд с нефрасом и выдержать в течение 10 мин.
2.4. . Пластины стеклянные по ЖЦ МИ.755482.002 ТУ подвергаются ультразвуковой очистке.
Подпись и дата
2.36 . Стеклянные пластины уложить в один ряд в специальные при­способления и поставить в корзину.
2.37 . Приготовить ультразвуковую ванну следующего состава:
- тринатрийфосфат ГОСТ 201 -76 - 10-15 г/л;
Взам. инв. JTs И на. № дубл.
• сода кальцинированная ГОСТ 5100-85 - 3- 5 г/л;
• синтанолДС-10 ТУ 6-14-577-88 - 3- 5 г/л.
2.3г. Включить ультразвуковой генератор и произвести очистку по­верхности стеклянных пластин в ультразвуковой ванне по следующему режиму:
- температура моющего средства - 55-60 ”С;
Подпись и дата
\ - напряжение - 380-400 В;
4:1 - сила тока - 15-20 А;
- время очистки - 3 мин.
2.3д. Выключить ультразвуковой генератор и вынуть корзину со
§
* 79 я
М (J
32
S
стеклянными пластинами из ванны.
(П) Зам. изв. 351.3.11-02Г
Зак, 358—2000

506К ф. I!
ОСТ 92-0962-75 Стр,За
1.3. , Промыть детали\шослвдоватвльно в ваннах:
• с тёплой водой - 30-40 °С,;
• с холодной водой-15-20 °С ;
• с дистиллированной водой.
Время обработки в каждой ванне 1,0-1,5 мин.
1.4. Просушить детали на воздухе 15-20 мин (до испарения нефраса или воды).
1.5. Протереть обезжиренные поверхности деталей чистой хлопча­тобумажной салфеткой, смоченной этиловым спиртом по ГОСТ 18300-87. Детали из стекла иди оптического отокла--К-20&- помещают в сосуд со"® спиртом на 10 мин, после чего протирают хлопчатобумажными салфетка­ми до удаления разводов. Допускается для протирки применять полотно нетканое холстопрошивное по ГОСТ 14253-83.
1.6. Поверхности полимерных деталей, а также поверхности дета­лей из любых материалов с нанесённым подслоем, перед нанесением покрытия протереть хлопчатобумажной салфеткой, смоченной этиловым спиртом.
1.7. Период между окончанием подготовки поверхности и началом нанесения покрытий не должен превышать 0,5 ч.
Допускается перерыв до 48 ч при условии хранения деталей в закрытой упаковке из полиэтиленовой плёнки по ГОСТ 10354-82 с силикагелем по ГОСТ 3956-76.

3. ПОДГОТОВКА ИСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ИСПАРИТЕЛЬНЫХ

УСТРОЙСТВ

3.1. Для нанесения покрытий используется проволока диаметром 0,8-1,2 мм из алюминия марки СВА-97 по ГОСТ 7871-75, серебра марки Ср.999,9 по ГОСТ 7222-75, золота марки Зл 99,99 по ГОСТ 6835-2002, фольга алюминиевая по ГОСТ 618-73 или полоса Ср 999,9 толщиной 0,10-0,32 по ГОСТ 7221-80.
3.2. Для нанесения алюминия на детали простых геометрических форм в ка­честве испарительных устройств (испарителей) применяются жгуты из вольфра­мовой проволоки по ТУ 48-19-39-95, Жгут представляет собой пучок вольфрамо­вых проволок, обмотанных испаряемым металлом и вспомогательной спиралью из более тонкой вольфрамовой проволоки.
3.3. Перед изготовлением жгутов обработать вольфрамовую проволоку в течение 10-15 мин в растворе, г/л:
кальцинированная сода (Ха2СОз) по ГОСТ 5100-85 20-30;
едкий натр (NaOH) по ГОСТ 4328-77 50-80;
жидкое стекло (Na2O-SiO2-nH2O) по ГОСТ 13078-81 10-30;
температура раствора 70-80 °С.
Допускается зачистка вольфрамовой проволоки шлифовальной шкуркой с маркой абразивного материала 13А, 14А или 15А зернистостью 4-6 по ГОСТ 5009-82 или по ГОСТ 6456-82 до получения светлой поверхности.
3.4. Промыть вольфрамовую проволоку в горячей воде при температуре 60-80 °С и просушить до удаления влаги.
3.5. Нарезать вольфрамовую проволоку кусками длиной 250-400 мм.
Длина уточняется по расстоянию между токопроводящими шинами испари­
3.6. Собрать нарезанную проволоку в жгуты.
Количество вольфрамовых проволок в жгуте с учетом мощности электриче­
ского источника рекомендуется выбирать по табл. 1. (12 )3ам.изв.351.29 .12-04Г

Таблица I
Наименование показателя
Норма
Минимальная мощность источника питания, кВт
2,0

2,5
3,0
4,0
5,0
6,0
Диаметр проволоки, мм
0,5

0,6
0,7
0,8
1,0
1,2
Количество проволок в жгуте, шт
9,0

8,0
7,0
6,0
5,0
4,0
3.7. Намотать на каждый
жгут
(
в среді
гей его
части)
алюмин
левую

гроволоку диаметром 0,8-1,2 мм или фольгу, предварительно протерев их салфеткой из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков, или полотна нетканного холстопрошивного по ГОСТ 14253-83, смоченными этиловым
спиртом.
3.8. Обмотать испаряемый металл и жгут вспомогательной спиралью из вольфрамовой проволоки диаметром 0,20-0,25 мм.
3.9. Подготовленный жгут поместить в вакуумную камеру и при давлении 6,6*10“3 - 13,3*10“$ Па прокалить, т.е. довести алюминий
до полного расплавления, не допуская испарения алюминия со жгута.
3.10. При нанесении алюминия или золота на полимерные пленочные материалы, а также на детали сложной геометрической формы испаряе­мый металл применяется в виде проволоки или фольги, а испарение производится из специальных тиглей по ТУ I4-I-3089-80.
Тигель нагревается резистивным, индукционным методом или электрон­ным лучом, источником которого служит прямоканальный катод из воль­фрамовой проволоки диаметром 0,5 мм.
З II. Перед испарением тигель прокаливается в вакуумной камере при давлении 6,6*10~3-13,3*10“$ Па.
Температура прокаливания составляете1900-1ыЗ) °С, время - 15 мин; контроль температуры при необходимости можно осуществить методами пирометрии.
© Эам.изв.351. 64 -89Г . . ~** - —-- — . - _■! ГТ~А—~1* — Д-Г1-1І1. ҐІ

ОСТ 92-0962-75 Стр.6
3.12. При нанесении серебра на полимерные пленочные материалы и на де­тали любой формы используются испарители (тигли) с косвенным потоком пара испаряемого материала.
Тигли изготавливаются из танталовой или вольфрамовой ленты толщиной 0,2-0,3 мм.
Чертеж и принцип действия тигля приведен в приложении 2.
3.13. . Для нанесения отражающего слоя серебра и защитного слоя из не- ржавещей стали на стеклянные пластины применяют катоды из серебра Ср 99,9 ГОСТ 6836-2002 и нержавеющей стали 12Х18Н10Т ГОСТ 7350-77.
Катоды из серебра и нержавеющей стали установить на соответствующие магнетроны и протереть поверхность катодов салфеткой из неокрашенных хлоп­чатобумажных обрезков, смоченной этиловым спиртом.

4. ПОДГОТОВКА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

4.1. С внутренней поверхности камеры удалить конденсат алюминия скреб­ком, шлифовальной шкуркой или металлической щеткой, после чего очистить внутреннюю полость вакуумной камеры пылесосом.
Удаление конденсата серебра и золота из вакуумной камеры производить по методике, изложенной в приложении 1.
Чистку камеры проводить не реже чем через 8 циклов работы камеры.
4.2. Поверхности камеры и приспособлений, контактирующие с вакуумом, протереть салфеткой из неокрашенных хлопчатобумажных обрезков, смоченной этиловым спиртом.
4.3. Установить в камеру испарителя и все необходимые приспособления. При испарении серебра и золота в камеру дополнительно устанавливается экраны из алюминиевой фольги.

5. НАНЕСЕНИЕ ПОДСЛОЯ

5.1. Для уменьшения шероховатости поверхности деталей (в том числе с нанесенными защитными покрытиями), подлежащих покрытию алюминием, се­ребром или золотом, на них наносится подслой фторопласта-4МБ-П по ТУ 301-05-73-90 (только для металлических поверхностей), лака ЭП-730 по ГОСТ 20824-81 (для любых поверхностей) или шпатлевки ЭП-0020 по ГОСТ 28379-89 (для выравнивания текстуры неметаллических деталей) с после­дующим нанесением двух слоев лака ЭП-730.
5.2. Параметр шероховатости поверхности., деталей, на которые наносится подслой, должен быть Rz < 40 мкм и Ra< 2,5 мкм.
Зам.изв.351. 29.12-041'

OCT 92 -0962-75 Стр Л
5.12. Толщина подслоя на неметаллических деталях ішнтролируется в соответствии с требованиями ОСТ 92-4566-85 на металлических J образцах-свидетелях размером 150x150x1^3 ш, изготовленных