Микросборки тонкопленочные. Типовые технологические процессы изготовления прецизионных фотошаблонов

s?
,7
Z^4/ ‘ / & . V ‘ 4 4 ' ■? h
4 * ' r Jit
/
J
^
‘ AH ■?“ ■? , / ,;1 ..A- ■? J.. 4< f 4 / . ' 4 l4 .ifj "'^; ' ■? if
* •/' ■?
V- ■?' : 4>:
■? : ■?
I, -tlr-
' r t . -^..-'
■?Mh *. <*4 ■? ,4'
KjJ 11' ■? ■? '■? "■?
J .■?■?'* ■? tr ■?■?
L
4j'‘< r
■? 44
.4
X, > ' ' > , ? -! 7
’U’
v-f,
L /4
■?I' > A
,t ■?•’' 4*.
f l lr
iH*
<i
*.'• ■?< : - *■?*. / I * $'.
I'/' ' ' st 4 /.' 1
?!>
.f -’< !
■? It:
. ' A 'SsP^e
■?■? • ..V
rf
lift'
rMj
■?*6
• •V'
_ fi ■? M' r 'V " ( 1 ■? ;■?. 'L.u,.r r - /
‘.' ' 'I

■?M* ■? ' *-. 'I ' ^+* 1,1 t > > 1 ' ' ■?'■?’ ’'fl ? *■? ’ i|- r ■?■? != l *" : < 1 ■? : - l -P
W’i "./j ■? . ■?’
' .. ' . '■?Jr
>. ' 'I' ■?IHi.-J—..-..^... 5-?.
:. !■?
•■?> : r

"" * ' ? - ■?'
.4 ■? ; , . , ■?<• • . -

I. 1.1. 1.2. „ 30

‘ , ' J ' • : . S 4 . ' ■?' " ‘ ‘ ' ■? •. ' : /
1,14. I.I5* 1.16. I.I7. І?.Л?8- , 2. . J f
2.1. 2.2. ■? 2.3/ 2.4. 2 2.5. 2,5. 2.

t

- / OCJ^IXSW—

. 2;5.3. 2.5Л? . • ■?■?• “ . . .. - •’
2*6. 2.6.1. . " . * ■? *. ' / ■? ■? " ■? - ' “ 2.6.2. J * . N j I f . * ‘ ft - " .1' ■? 1 l
■? .; ' 2.7.' 2.8. ’ 2.9.1 '• ■?' ■? ' ■? ' ' ' . • • > ’ j 4.; ■?* J - ■? - 111 f 4 . ' • -1 I ’ ‘ ; j ' . 2.IL. , ■? ■? < I ' . > “ .h ■?■? jt . S J., '! I. . * .

—-— '1 ■? ,, ’ ; - - 4 f ' ' f ■? ■? ’ '. ' < • ' " ■? J *
2.12. 2 . > ’ < ’ ’ * . ■? - . u ■? ,
^ ■?t
•'ll •
li
It
I * ' * . J ' ■? ■?
3.2. . Э?.З?. 3.4. 8 , ' . 3.5. З?.б?. 3.7. 3.t8 . 3.3. 3. ID. 3.II.

. 3.12•?
3.13. 3.14. - -IB300*2 2- 85 *‘ ' ■? , . .,
3.15. 3.16.

* , ••'. ' ■?- 1 . 1 ,, ' 3.20. “
• ' 1 ' .
' ' _ ' : j J.

*— ■? Oct ,7.y I

■? . . ■?.; i. ■?/' ‘ ji ' 3.24. < S': ' ■?■? ' 3.25. how ■?',' ■?■? ^ V 3*26 4 2 ■? 3.27. ■? •'* - t - V- ■? . • ■? • „
. 3.28.
. ( ■? ' 4 ^ < 1; •- ■? ,3129 ■? •'1 r’Z, '' • . • .. It . . f ..
/, ; '3. * .3.31 7-^. 3.32. З?.З?Э?,

3.36. 3.36,

7)

* -*-~ ^7-.— -- . ■? ' ’ll.
. ' ■? ..fi .. sL :$ . ■?■?
f 1
. . J '■? . ■?' -’ ' ■?
*■? f ■? , b
V-
> " ■? ■?■?
[ / " (. — ■? - ■?* *f " f [ '■? ■?' -rr-T
4 I '*■?. • .• ' 1 J ’ HJX/ : ’ ’ *.•'■? > ■? . : !;., ■? ■? vR . ;/ | . . ■?>
Hi
■? '■? ..' ■? L .• * "‘•'

‘ ‘ : ^ 005
I.
2,
. *' S*
- ' ; ' - > " * * ; * ■? . . . * _ ■? -- -

. We^ooaiwe * TIA** *■? jCy ■? . _> ‘ 2* - . . 3^’.
■? • ■? ■? J ( •

1 -■?
1
• . • ' • -t
~ "4 ~—
1
f ---
1 -
r L -v I ^ “ " L ' '• -| . -.4- — .
' '’ ’ - ‘ " • 1- ••■?--„■? - -| 2D Ufa
t-

1. -— —■? -
• < . " li^utu.. 1 •w ■? - Ujum / - * * .." □? - ■? •

[ ; . . • ' ■? “ : - - 1 .*' 7 !■?-■? * - - ■?* 1 — J4 s . V ’ 1 :*/■? . .7 -1'
■? - ’ II ' — - -- > ' ■?>_
k - ■? . , ■? V£?3

E>-
A
r r . r
* I % - *•
*■? w. 4. 'V' < ! > ” ' — V- * * .._ _/ -w • ■? ' 9 *-
* ■? * V ...
■?'-at —. ." 4 - ' ■? 1- ■? ’
’
- . L ■? ~ 1 II . ™" r *• * - ■? ’ - ’ J
_ k *' •
f 1 •, * 1 - " — < ■?* ’ — , *■? <_ . ■?*" jr • ' ' ’ ' . - -' ; ,—- ; “*’ ■? —“-^. ■? ' . ‘ '-jf . - ■? “^ ’1-~ ! * * -■? - - - — * •>> . ■?-*■?=■?_♦?' - : ;;W’ .-J r ~ ' -' -
L J.5 , ■? .. J
5 " *•41 ". -* - -'* J " Tl , *
“' '. . • • ::u.,'k . r: v ' * . v . ■? ! ' * ■? 4
■?4 ; *

■?■?’* ■?■?■?■?>■?■? IOCT 92^1707-80 019

-uS
IX-
h... ■? •*'"■?• ■?■? —- ••
ffcSftuchu (jQmQ
I ■? '<a
■? - ^ IT
. .' - 1" . /2 - f-
■? ■? ' _ > 1 "■? " ■? 1 ■? ■? . ' ^-- 4 — . ■? ■? . . • 1 : . t -
4 ! 1 1 14. ■? jL_l - *. ' ■?■? — *■?. - ■? _ . ■? ■? . ’■? 1
‘ . !
■? ' -. !
1- 1
.* ^ ■?■?■? ■? 7 ■? ’ - ■? -- * J.- - -’ ■? - _ ■? - ” "■? ■? ^-5^ *
' - J j.’* < ■?**“
' ’ 4 J ’ ; ■?■? - 13
f -ft
t. f_. •n-4V

NSJE one fra~. ■?<*■? *. ’ ' u - — - _ £? ,- ■? ■?•.•? ■?V
1-
; f " 1 '” ■? < St-

t
• -=■? ! - X
’ "J f 4 1
. ■?^ ■?■? . . ■? * : j 92.78 ■? - - '■? 1 2. ■? J , -t: -^ 1 ■?_/ J
■?* ’ . - ■? I ?* . - . ■?*■? 3 - t *, '•!. , 4 ’- ss^gf
a . 1 -
- ? I ■?,. . ; • ♦? 005!
I
, .'4
L & J-T ’ - 1 -£? • -= - ^.“-- ■?' ■? -• - - ^ = . ->'■?'&
- j^KjaHaj^ogsKpH - - - - - —? " —?' ' '- ■? -- 4 - S:
' ^ : ’* ■?■?1 ’ 4
if t
I f ; 1 -■? < ■? -■?<' .'.| ■? - ; < — f— .■?
- 1 - ’ - ’ ■? ^ < ' ■? ■?•*- I'
1.
1

— —’ I
> ■? ■?*
* ** ' jin-* ; * * ♦? 1 3 ‘ * V 1 n*rW"^^2 '■?<

dZf

-' • • .. - ' .
•, '—

xo-
:

.. L *- 1 L ■? t ■? ■? 1 - .*■?
■? ■?* ' _ u ■?>
n . _ . ■? k r - 6 * *■? ■? -W— - .. Ws J -1
1 3 -
10 >-)
1 1 - b J f x — - ■?—- -*■? H■?t

~ ” ’■?"•■? ’- ■? '~ - -7^* ~ ■? -.’ ' - ' ’- ’ 4 ■?* "7 - ■? .” ~ ' ■?X.
W J i
'# rJ ■? _ ——
I' | 1 1 L ' '. - ~- ■?*■?’._ 1- ’ ”' >' : ?y ' Jhjlj - ■? J '
’ ; ■?_ .• *
■? 1
-
F ~ *
- L,- (J 1 L.
1 L; >h-' -> ■?=.. . < X J ‘4 t ~
*.
’♦? < .*.. -1 — * ■?■? - * ’"./ r. Is.
■?<4? I
hi a J ! ' ** ^ ^ - ■?>*<*
* tr* * t _ 7 . „ ' >■?
4W
,- ■?*
I :J v~..x . ►? .'W " J ‘ • ' ‘ . *• ■? - ■? J* ’ <
f
‘1 •.. ■? ; '' 1 1 : '
1 - .
?:
’ t. I f ' • ■? '- _ A ’
, -TC
■?
X “ <_ . -W
- *“ —?
" * ' 7 * *s ’*'■? . - . - _ 1 ■? . - ’ — , _ J-
1 ■? " - ” 2-5 “ - ,.5> - -L : - - ! ■?•■?-.? / -1^1 ’ . :■? ^.1 - h^h ■? * : , ! - 1 * -• 1 •’ . --*4* >■? . J. J 5- ■?
. . V’? " ,|1 ; , *'"‘1 ! Jh ; tone Ine * ' - ■? ''■?” ,*— ’Lj, ■? -*j- .-■?“■?*
! - ■? -_ J -I
1
£?
'. — L . ‘ '" _ - — —
■?X'
I** ,? , .- * 0 4 h
V- ;
—1
- ^ " -'• ‘ ' "■?■? -- ’ - /■?
•? - '*■? ■? : . ... J ■? ,3 *-"
■?4 .
‘ ■?* 1 - ■? ‘: 1 ■?*
!
V t * <■? r ■?* " ’!♦?* _ ••'• —“ ‘
- ’ ■?’• ’* V J ■? - f
- ' 1 Z, ' !■? - ' ' ' ‘ S -' - / / ? ■? ■? : ;-. - * " ■? 4
►? - ■?•<• ■? ■? - „- • ■?: ■? •

< Mtt'l.

| ■? ■? ■?' , ■? 010 ■?"* 4 ♦? ^ ! ‘ - * ~ J _ - - J 3 * * .< * * - # - X 1 t < --
f * _ 7 : ' 1 "
X’.V r F . 4 • ■? . ; 4 - ■? ■? ? , L ' ■? * .4 ( 4 t * '
■? * ' ‘ ! * - *■? , 4 1 ■? - * - * ; ' 1 > < >
. * - *' | ■?*•- _
| * . . . - . ■? *■?* -■?'''- 1 ■? k < -F
J ■?> , -: 1 1* '- 1 - . ■?L. --
/• ' *-/ '=•• '■? '.** •- *’ - ■?' ■? :/ /■? < ■? ”
-._■?■?* 1 . “* .1 j
, * ..■?" . . '~/ ’ . ■? " — . _ _ ■?. . ~ . 1 - * - _ -7^ *
-. *■?
* ■? 1 -7
j
1 “■? 20 ■? ” - 4 *' *
* ■?■? - '4, J. ' * J —— 7 ’ ^=*" . ... / . - • - - .._ J- J ' ’ ■? -* " - " ■?*-■?■?■?■? ™-
■? * - - — ■? * ’ * <
■?fc.
- ■? '- F • I
5
<J 11

6
!

Mw- Ha “

.t

’>
1* - + ■?><
- +
4. *
, *
- : -J- .9f " *
[ ; 9
10
II
... ...... - "L _ r _. ‘ _ “ wt - - -' J - -
■? 5 ■?’••4 >k. * ,
■? ■?'■?' * — .*.
-d—■? _ 20-0,5 -*. _■? - ■? < 1 ■?
r r ■?
4 V L. ' 4 "T- 6- ito ' - ■?* - ~' > ? < ( ■?* “*■? ■?

8-TSS1
•■? . “I

~ 11241&

I 7 . • -£?" ' & — . ,-<.■?■?•- 1 t _ _.- ,,^ . - | -- 1 _. -• . J I „ 1 *’ ' - J.
■?^,
■?^l 4 1
‘tE
■? .; 4# ■? <-j ;V f ,'' ‘ (’ ‘ ' J
> ( ’ ’ X ■? - ’ : • '
■? , "■? *■? I 5 j <. , >*>-- • ■? ‘ ?. •■? * ■? ' „ ”. *' ’ 1
<
] ; 1 d 3
4
- ■? JL ■? 1
. ” ■? ...■?-* * * , ' * ’ ■? :it ■? '.W * J
1 . .'- ■? ■? , -1 ■? ! ■?'"■? 1. j ’l'H : ■? t ’*£? : ‘ .—■?■? ■? ■?" •• J
, . _*• ; 1 * ' ’ f lfl *' - • . * -4 - ■? f ' - *■? ■? - ■? * • .. - ' ■?■? . jt=- - *
* 4 1 * . ■? ■?
1 ! _ .♦? -
“ 4- < - * -- ' — 1 ~ •-. _, , L ' ' *■?/ ^’^ . .. 4 * - _ ; • - — I
- , ' f - > *
- - — —~ ■?•■?■?•- T - T ■?-- -■? "
J - ; ■?- ^ ^ 2 - ^ _ 2:
3 4_ ~~ 4 '-- -. - -^ . ■? ■?-■?’ > - .’
- 1:. ■? |^ .1 -
:
&-•* ■? <
;

4 ■? —’ " " ~ J 7 ■? -- l/tWT- il.-ln-
‘. . -11 1 — 1
* ■? V _. ! ' ■? • - < ’ ■? > .
|| "
’ - f
F * *■?
1 I
< 1 1 * 'X
*
£?
1 1
- : 1 - ■?■? 10
1 ‘ ■? ■?• '■?■?
; '•■? J
1 + -* 1
•f 4 f J 1
* f " • ?. ;" '
- -?■?’ ,. .4 1
■? * X V ( . *• Z [
?!
|!
■?: ^i- r : — : -- J " ’ J ■? “7 ■?*' „ * _' ~ ' ■??■? "”t *m !0 Wo-.
MЂJ?
ne- P*~ XO-
■?■?- .^ -/ /’ - 015

*
- > :* ‘ . - • " X
' • -
"* ■? ■?W-
/■?
1
* ►?
'X '
■?;
*
■?*. ■? >
*
■?
- 1 * ■? -■?■?
■? ' •*■? * 1 7 * - - . 1 ; ■? " ■? ; _ % **=%, ' 1 ; - . 1. - “ * ■?? , ,.* *• V J / - W t*.
-f- ■? k, ■?* - *
* > ■?:
>
- ■? > ■?^ 1 _
- * = ‘* *
■? : ■?> .- **
■?+
■? ‘ "“ _ 5
3

- . • - .. '. “ ' ** J> u * -it.J —- - - - 1 -*•** 7 ,- * ,
" l“ ■?. - (
1
1 - - .
1
X
4
_ t..
V •1
*
4
< <
*
* *
ri
■?
ri
OCT 92- 1707-8 0 < ■?; —— — hHhV- ? — ; ——- . -~ L —- -.- ■?-—- V , , _■? .
Hoiitpft w ’,m f HvihM.'itii i/W /Fi. .
1 ‘ 5 . ■?1—1 , - <5 - .
. , ,.. : - <-■? ■? Ji. ^4.
>!

a,
/- 7 ~‘ J
'• -^ V * I ~- ti~ j:] “hl>■?- -1 - f .. t
I -• ,■?
■?1
4 L J .Ab
K-- ; ■? ■? _ .... -- ■? 7 ■?^- , <_, . ^ - ■? ... .. - - _ -
1 • 1. IL
*•*
■?7 ' 1 *’*' *
( ♦?
■? " „ ■?* 1
J
1 X- ■? J 1 '"?■?; f X '•*• ' 1 *4 . ■? / ' J '■? IL. OCT 92-17 07-80 J1.VJCT 381

R ■? ■?. .. — W . - - 4 |, - ■? , • - 5 ’ t 4
>4- J >
* - . “ £? ’ J- ■?** L * h - *
* ■? ■? ■?"* * -*■?■? ■?—* - - _ ;
— zxx- 2 -— ~ _ ** —* h
V . J ^ -**
’■? -( ' to -— 1 ■?*
w -^
Bo ■? ' ’ W- J >
’' R ( ■?*■?■?'’ • '* ■? "Vi
/ V * >1 -♦?
• • id
. •;• — - t - '<*■? '.
T "f ■?*
- I LtpoWpsrrb . ' **■? ■?■?- ' ’ dd: db T
- - J I .4 l J
■? '1 1 * > : ’ + R- 1, 1 t I -
’ " 4 - f ■? M d'r fri ••'
: ; ' +
” d lf ' 5
1
1 ,
’!■?
: t
'■? <S . ,1 ■? .,
■? v Lm'W .-Ul MW -"M. 1 ' -■? F
4 ' ' ■?'■? - V* 3 ' ' ■? /54f5>/ r np&t I -
WWW ’ *'0g-Z0

• 1 I JS/ V' I _

I

It
" > - ’ '.^ ■?W ' XS89f 1’ wfL ■?*- < ■? t
4 1?,-
l-*v-
- a ' ■? J -* * L
• ' -•' rl_
■?’*
1 ■?
V
- - _ _■? ..., ' ’ 4 ■? 1 1 * ■?„ 4^3^ 2'^1- ""' '
: * ' "■? -7 1 . * J .- — : A
- -
-• . -■?’ ” ■? • ' , - . - ' ■? - _/ ■? ^_
. . ■?
** *■? ,• * ■? - <
- ’ : “ - * ■? *■? 1 f ■? fc ■?
~ . ■?• ■?** ■? " ■?* “ 4. ■? ? - ’ ■? ■?* _ ’ k ’ ■? I - ■? 11 hs
%
a <j> IN ' > ■? 5 " 1 . ■? * ? _* * 4 ■?4. . •■? - -- - ’ " ;? * 2 ■?.
' • ' /' '
■? *
■? <
!
j
1
~ ' _ 1,.'
1 . 005
* ■?
I
J -1 ■? * ' * ■? * • ’ ■?
• ■? - +
9
*
< — *■?
■?1 h . ♦? ■? .. ..... ; .' . .^ ’ ’ ■?'■?■?■?>.. . .■?■?. L. ‘ ... ' ■?■?■?■?■?■? < ’ ■? . 1 --'‘ • • '. : ,’ V ; . - * 4-
' ^ - “
W - .J
-
.4. Ju
. .* . -T. 1
*■?
■? 1
*■?
1
■? -■? M ■? 4
-Q
*00 -<
-Oy
4x .1*
T. j-
1 1. 1 ■?■? ~ '*-- ■?^ If
'? ' * -. ‘ 3~
tDIC
; • * ■?* I ft, ■? : 4 • “ -
1~"
4
__ * - W .4
* t
1
-w.- 92.I589-Q3I3 f
1
* t
1- 4 L . J , -Il 1 * h 4 >r HW

* ■? • ’J" 1 ■? ■? ■?■? * _ -
'• ‘ ■? - , ' " * I ■?■? ' t . 1
■?' J 1 -X *■?
■? . ’* *: '