Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы очистки керамических кассет и подложек

-т-— —— к_._. _
! X|';l?y>O
г '•■/••.•'. ', • і . •■. ■; •■.:• .- . ••■’■.•-', • - ■.
.4 •■?.•••',• • J? <=•>' / ■' > • ' Ї' ' I •
! OCT 92-4674-2000 ' ;
і ■: ■ ' ■■ Л' '■ ■ • ‘ '■ ■■ ? ' .'?■
I ’у? / :<■/< J-.; '■; л'
ІІ ■ ■ Х-' \л X :-.Х' '

ХХХ ТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ XX

л МЖРОСБОРКИ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ
Типовые технологические процессы
очистки керамических кассет
и подлокек
Всего страниц 26
Предисловие
I РАЗРАБОТАН Научно-исследовательским институтом
точных приборов
2 УТВЕРЖДЕН ЦКБС ФГУП "ЦНИИ машиностроения”
3 ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Информационным указателем отраслевых НДС, утвержденных во П квартале 2000г.

4 ВЗАМЕН ОСТ 92-4674-85

5 ЗАРЕГИСТРИРОВАН в ЦКБС ФГУП ’’ЦНИИ машиностроения”
; Содержание
I Область применения ... I
2 Нормативные ссылки I
3 Технические требования 3
4 Требования безопасности '. . . 3
5 Типовые-технологические процессы 4
Таблица I Типовой технологический процесс очистки керамических кассет 5
Таблица 2 Типовой технологический процесс і очистки подложек 10
6 Методы контроля 17
Приложение А Материалы, применяемые при очистке
керамических кассет и подложек . 18
Приложение Б Оборудование, применяемое при очистке
керамических кассет и подложек . . . . 19
Приложение В Приспособления, инструмент и контрольно-измерительная аппаратура, применяемые при очистке керамических . кассет и подложек 20
-
Приложение Г Инструкция по приготовлению моющего раствора для очистки керамических ■» J
кассет и подложек 21
■ ' . - . V ' . • - ■ • . • . . • ' • , , ‘ ...
УУУу -У? ' о Т В к С Л Е В О Й СТАНДАРТ УУУУУуУ? У .

:: МИКРОСБОРКИ ТОЛСТСІПЫЮЧЕЫЕ ' . ;

Типовые технологические процессы .< \'О 'У / "У'. : л' / у /'
УУ\ очистки керамических кассет и Т--'-У;:;У;'-'УХУУУ У'-::'-У.-.;УУ; УУ'УУ У ' подложек ; : \ V.■/■■.. . ■ У'.С''' fУУ1р;,-7
. ?7.-УУУУУУ У.У/;"УУ У УУУ<УУ Дата введения 200І-0І-0І
;.. , У •> j У? . '.У. • У • , V .•••.. У; ■ '1 ?< - ' . • '■ ' 7
УУ I Область применения УУУУУ УСУ-рУфУУУ'лС/лгта'--'.-л лл ■■■Уу У . Настоящий стандарт распространяется на микросборки» соответ- УУ ствующие ОСТ 92-4179-79, ОСТ 92-9436-81, ОСТ 92-9508-81 и уста- ' У натаивает типовые технологические процессы очистки керамических ,уу кассет и подложек. ... УууУУУ уУ’У.'/УутУУ;^
■У 2 Нормативные ссылки уУ УУ/ УУ/УУУУУУУ/У/ : Л?УУ У'<-‘УУУ ' В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие стан- ■ У дарты и технические условия: УУУ УУУУУУУуУУУ-У^УУ УуЖ
ГОСТ 3-88 Перчатки хирургические резиновые УУУУУУУУУУ
ГОСТ 6709-72 Вода дистиллированная /Л-' •' ЛУ<:У/;У
..ГОСТ 9147-80 Посуда и оборудование лабораторные фарфоровые. ' Технические-условия У\,. ■: \/У^Уу:уУ' у ...у У л у. о.уУу
ГОСТ 13646-68 Термометры стеклянные ртутные для точных / У - ' У;
измерений. Технические условия ■ У у •У:.С-;УУ;У:;'ч’:УУІ-/7уУ7.?У?.У:,;У'- УУУ
■ГОСТ 14919-83 Электроплиты, электроплитки и жарочные электро- - шкафы бытовые. Общие технические условия "v;-;-4 Л’-У^-У • •'•.•••уу ■УУУ ГОСТ 25644-96 Средства моющие синтетические порошкообразные.
Технические условия У ■■ У 7У ■:У у-У ;У.-У У.У
•ГОСТ В 51232-98 Вода питьевая. Технические условия У
УУУ ОСТ 92-3890-85 Пинцеты монтажные. Конструкция и размеры.' Технические требования .<-.УУ ,<</УУ ••ЛУУ'^'У •У>/УУУ''У-У< <?:;;':..У'.

> У.-У УУУ У УУ^^^^ У:

■ OCT 92-4179-79 Микросборки гибридные толстопленочные. . .
Технологические нормы при конструировании -ЛЛЖм<'Л;"'^ЛЛ?;'; .-^:Л ОСТ 92-4673-85 Микросборки толстопленочные. Общие техничес- ?. кие требования и требования безопасности к типовым технологическим процессам изготовления •; -••• Ж;’Л>’ '<•
ОСТ 92-8605-^5 Помещения производственные для изготовления микроэлектронных изделий и печатных плат. Общие требования
L ; ОСТ 92-9436-81 Микросборки гибридные толстопленочные. . Базовая конструкция я размеры -
■ " • ОСТ 92-9508-81 Микросборки гибридные толстопленочные. Общие, технические УСЛОВИЯ ’< 'ЖЛ;лЛУ'--.у
ТУ 3-3.1210-78 Микроскопы бинокулярные стереоскопические МБС
■ ТУ 6-09-II8I-89 Бумага индикаторная универсальная для опре- деления pH Т-10 и pH 7-14 ; ^ЛЛ;
-ТУ 11-84 БЧ0.737.000 ТУ Подложки керамические шлифованные. Технические условия : у.-ум
ТУ IT Ще0.781.000 17-81 Подложки. Технические условия . .: /< ;■■■ ТУ 25-07-1268-77 Часы сигнальные ; f
■■у" ТУ 64-I-I4II-8I Шкафы сушильные электрические круглые 2B-I5T. Технические условия "Л л■■■'-Л ''
3 Технические требования
3.1 Общие технические требования - по ОСТ 92-4673,
3.2 Типовые технологические процессы очистки керамических кассет и.подложек следует выполнять в помещении второго класса чистоты и четвертой категории по микроклимату согласно ОСТ 92-8605.
3.3 Требования к качеству рабочей поверхности подложек в соответствии с ТУ 11-84 БЧ0.737.000 ТУ и ТУ II Ще0.781.000 ТУ и требованиями настоящего раздела.
3.4 Контроль геометрических размеров подложек производить в соответствии с техническими условиями на ПОДЛОЖКИ .
3.5 На поверхности очищенных керамических кассет и подложек не допускается наличие жировых пятен, отпечатков пальцев и прочих загрязнений.
3.6 Срок хранения подложек от промывки подложек ДО ТЄрМИЧЄС- кой обработки не более 16 часов, керамических кассет - не более 5 суток.
3.7 Срок хранения подложек от термической обработки до нане­сения пасты - не более 5 суток .
3.8 Очистку керамических кассет производить после получения их со склада и перед запуском новой партии плат в производство по мере загрязнения.
4 Требования безопасности г
4.1 Требования безопасности - по ОСТ 92-4673 ,

; v ; "' й.-?t '< OCT 92-4674-2000
І 5 Типовые технологические процессы : •>•,■','i
; 5.1 Типовой технологический процесс очистки керамических \ -;-
кассет приведен в табл;ще I. : \
5.2 Типовой технологический процесс Очистки подложек приведен
I в таблице 2." ■;■■■’ ■"
! 5.3 Материалы, применяемые при очистке керамических кассет и
і подложек, приведены в приложении А.
I 5.4 Оборудование, применяемое при очистке керамических кассет
\ ' и подложек, Приведено в приложении Б.
.■5.5 Приспособления, инструмент и контрольно-измерительная ’ аппаратура, применяемые при очистке керамических кассет и подложек, приведены в приложении В.

шпі/
Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наимено­вание)
Приспособление инструмент (тиг наименование)
Материал (наименование)
005
I
Промывка
Приготовить моющий раствор

-
Кружка фарфо­ровая
Перчатки хирур­гические рези­новые
Моющий раствор - в соответст­вии с приложе­нием г

2
Поместить керамические кассеты в кружку фарфоровую с моющим раствором ниже уровня раствора на 5-10 мм
Объем раствора I л на 15 кас­сет

Кассета керами­ческая
ИВ-І345А Кружка фарфо­ровая
Перчатки хиру­ргические ре­зиновые

СЛ
"ШШ/
Номер операции
Номер перехода
Наименование и 'содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наимено­вание)
Приспособление инструмент(тип наименование)
, Материал
, (наименование)

3
Кипятить раствор
Время (15+5) мин
Плитка элек­трическая
Часы сигналь­
ные механичес­
кие

ГР2.8ІІ.0І7

4
5>
Извлечь керамические кассеты из кружки фарфоровой с раство­ром
Промыть керамические кассеты Кратность обмена воды 2-3 обьема/мин
Время (12+2) мин Температура воды (45+5) °С

Пинцет 92.7814-1254
Кружка фарфо­ровая
Часы сигналь­ные механичес­кие

ГР2.8ІІ.0І7

Вода водопро­водная прото­чная

1 . •
Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наимено­вание)'
Приспособление, инструмент(тип, наименование)
Материал (наименование)

г
6
7
Промыть керамические кассеты Кратность обмена воды 2-3 объема/мин «
Промыть керамические кассеты
Время (3+1) мин Температура воды (20+5) °С
Время (2+1) мин
ч
. 1
Термометр ртут­ный стеклянный
Кружка фарфо­ровая
Часы сигналь­
ные механичес­
кие

ГР2.8ІІ.0І7

Термометр ртутный стек­лянный
Кружка фарфо­
ровая
Часы сигналь­
ные механичес­
кие
Вода водопро­водная про­точная
Вода дистил­лированная
ОСТ 92-4674-2000

* Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наиме­нование)
Приспособление инструмент (тит, наименование)
Материал (наименование)

8
9
10
Проверить кассеты на смачивае­мость. Передать кассеты, имею­щие разрывы водной пленки, на повторную очистку
Сушить керамические кассеты
Проверить качество обезжирива­ния на соответствие п.3.5
В случае несоответствия п.3.5 передать кассеты на повторную промывку
Время (10+2) мин
Температура (■85+5) °С Ї-.
Шкаф сушиль­ный 2B-I5I
* - ■ ■ ■ у У ‘У-
'■ ‘1’.; ' '

ГР2.8ІІ.0І7

Часы сигналь­ные механичес­кие ГР2.8ІІ.0І7

со
Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наиме­нование)
Приспособление инструмент(тип наименование)
Материал (наименование)
010
I
■»
2
3
Термическая обработка
Включить печь и установить в режиме вживания первого про­водникового слоя платы по тех­ническим условиям на пасты
Уложить керамические кассеты на конвейерную ленту печи и произвести их термическую об­работку
Снять керамические кассеты с конвейерной ленты и уложить в. тару *
\
Электропечь СК-10/16.6-5
*
Пинцет 92.7814-1254
1
Пинцет •92.7814-1254
Тара техноло­гическая

со

Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наимено­вание)
Приспособление, инструмент(тип, наименование)
Материал (наименование)
005

Промывка

I
Произвести сплошной визуальных!

Микроскоп

контроль рабочей поверхности

МБС-9 с уве-

подложек на соответствие п.3.3

личением 16х
<

В случае несоответствия п.3.3
* ,

подложка считается бракованной

2
Приготовить моющий раствор

Кружка фарфэ-
Моющий раствор

ровая
- в соответст-

ч ■ ' . •

Перчатки хи-
вии с приложе-

... - • • • ■ - • •

рургические
нием Г

резиновые

3
Уложить подложки в кассету

Пинцет

92.7814-1254
• • - •*. _

Кассета

• *
2999-4929-01

: Номер операции
Номер перехода
Наименование и содержание операции, перехода
Технологический режим
Оборудование (тип, наиме­нование).
Приспособление инструмент(тип наименование).
Материал (наименование)

4
Поместить кассету