Помещения производственные для изготовления микроэлектронных изделий и печатных плат. Общие требования

1 2 3 4

1 2 3 4 5 5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 5.9 5.10 5.11 5.12 6 7 8 ) 8.1 , 8.2 8.3

1 2 3 3,1 3.1.1 3.1.2 3.1.3 3.1.4 3.1.5 3.1 6 3.1 7 3.1.8 3.1.9 3.1.10 3.2 43 - 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 4.9 5 5.1 5.1.1 - - - 5.1.2 5.1.3 5.1.4 5.1.5 5.1.6

5.1.7 5.1.8 5.1.9 5.1.10 5.1.11 - - - 5.1.12 5.1.13 5.1.14 5 J 5 5 5.1 5.1 5. 2 5.2.1 - - - - - 5.2.2 5.2.3

5.2.4 5.2.5 5.2,6 5.3 5.3.1 5.3.2 5,3.3 5.3,4 5.3.5 5,3.6 5.3.7 5.3.8 5.3.9 5.3.10 5.3.11 5.3.12

5.3.13 5,3.14 5.3.15 5.3.16 5.3.17 5.3.18 5.3.19 5.3.20 - - 5.3.21 53.22 5.3.23 5.4 5.4.1 5.4.2 5.4.3 5.4.4 5.4.5 5.4.6

5.4.7 . 5.4.8 5.4.9 5.4.10 5,4.11 5*5 5.5.1 5.5.2 5.5.3 5.5.4 5.5.5 5.5.6 5.5.7 5.5.8 5.5.9 5.5.10 5.6 5.6.1 5.6.2

5.6.3 5.6.4 5.6.5 5,6.6 5.6.7 5.6.8 5.7 5.7.1 5.7.2 5.73 5.7.4 5.7.5 5.7.6 5.7.7 5.7.8 5.7.9 5.7.9.1

5.7.9.2 5.7.9.3 5.7.9.4 5.7,9,5 5.7.9.6 5.7.9.7 5.7.10 5.8 5.8.1 5.8.2 5.8.3 5.8.4 5.9 5,94 5.9.2 5.9,3 5.9.4 5.9.5 5.9.6 5.9,7 5.9,8

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5 J 0.1.8 5,10.1.9 - - - - - - 5.10.1.10 - - - - -

5.10.1. 5.10.1,12 5 5 5.10.2.2 5.10,2,3 5.10.2.4 5.10,2.5

5 J 0.2.6 5.10.2.7 5.10.2.8 5.11 5.11.1 - - - - - - - 5,11.2 - - -

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