Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Типовой технологический процесс входного контроля

ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ • -. г .mil..

МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ И ПРЖОРЫ ' ' /

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ /<л ;'
Типовой технологический процесс Д
входного контроля «
• ‘ '■•■'■ * »••'■ .''' ? *4'' ‘,■* •-.•’■■’*■ -■ ■ ■■ "
t ч 1л -а • ' ; ' <' ‘ .
Всего страниц 58

Рег.№
Исполнитель
Проверил
Нач.отд.
ръинжеиер
302.403-2003
Соколова
Степанова
Исупов
Родин
аг 02.06.2003

I Основание: РГИ№ 148 от 30.05.2003
Разослать: 2614,2750,2251,2271,2925,2850

'■'.'J ;X:’' '• ■ ’ OCT 92-4488-2000

. • ’ ' ' ■ ' ■■
/•<> ДЧ -• > >. ■■•-- . . ■;■
-".\чл«* *А‘н . &:>&. Ik.л- . , • Ч\ - ••• - чл ' , " ----- ■ * г - , ■ ■
<x;>‘ • 5?-'- .>-4 ■' •• ■т-» v'j . Л' 1
’ . Ч Ї1 ’-f А - . -.--.''і..-. '■■' ■ '■ ‘ : '
">ч > л
'■ . 7 „Л:3
Т? -> ' J-, Предисловие
І РАЗРАБОТАН НаучноніроизБОДственнш объединением
-измерительной Техники
‘ 2 УГВЕРда ЩБС ФГУП ЦНИИМАШ •
З ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Информационным указателем отраслевых
НДС«утвержденных в I квартале 2000 г.
4 ВЗАМЕН ОСТ 92-4488-84 /fiC'7
5 ЗАРЕГИОТИРОВАН в ЦКБС ЭТО ЦНИИМАШ » 18494
Содержание.
I Область применения. ... . . ... . • • • .. . .. .. .. . I 2 Нормативные ссылки. . . . . . . . . . . . . . . . . ...I 3 Обозначения и сокращения. . . . . • . . . . . . . . • . . 5 4 Технические требования. . . • . ....... . ... • 6 5 Требования безопасности ...... • • .. . .13
б Типовой технологический процесс ......... . . . .15 Приложение А Ведомость регистрации врем єни вскрытия, бескорпусных ИС и ПП на входном контроле. ... ... ♦ . • ... 46 Приложение В СосШ комплекса эдтчеекЫлдездетв
АСВК МС>И ПП... • . **•»*•»** •: .і • • • « •_ .47
Приложение В КИА и оборудование для автономного режима контроля ИС и ПП ....... . . . . . 48
Приложение Г Приспособления и инструмент.. . . ♦ . . . . .50 Приложение Д Материалы. ... .... .......... 51 Приложение Е Библиография .52

V OCT 92-4488-2000

tz, ' - -z , ',! ■.??/:<...,:-л,л /■■..;■— .. SV .; •“
лОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ ■ 4 <.,■ ,-r.— - г ?<;■■ -,-■ . ,: ■. . - ■ - ,- : ■ '
МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ И ПРИБОРЫ ПОЛШОВОдаЖОВЫЕ
Типовой технологический процесс входного контроля
' , Дата введения 01.01.2001 г.
I Область применения
Настоящий стандарт распространяется на интегральные микросхемы полупроводниковые приборы, предназначенные для изделий основного производства и устанавливает типовой технологический процесс входного контроля интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.
-2 Нормативные ссылки
і В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие стандар-
■; V ты И технические условия:
. ГОСТ 12.0.004-90 ССБТ. Организация обучения работающих безопас­ности труда. Общие положения.
і і
' | ГОСТ 12.I.004-91 ССБТ. Пожарная безопасность. Общие требования.
• ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Общие санитарно-гигиенические требования
к воздуху рабочей зоны. .
ГОСТ I2.I.019-79 ССБТ. Электробезопасность. Общие требования и номенклатура видов защиты; ■ . . -
ГОСТ 12.2.032-78 ССБТ. Рабочее место при выполнении работ сидя. Общие эргономические требования. •• • ”
ГОСТ 12.2.033-78 ССБТ. Рабочее место при выполнении работ стоя. Общие эргономические требования. .
ГОСТ 12.2.049-80 .ССБТ. Оборудование производственное. Общие эргономические требования. . - .
ГОСТ 12.2.061-81 ССБТ. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам. ’

Входной контроль продукции. Основные положения
Лупы. Типы, основные параметры. Общие техничес-
Ручки автоматические шариковые. Общие технические
требования и методы испытаний.
ГОСТ 29298-92 Ткани хлопчатобумажные и смешанные бытовые. Общиетехнические условия.

ГОСТ РВ 51030-97 - ‘ 1

ГОСТ Р 51232-98 Вода питьевая. Общие требования к организации и методам контроля качества. Л
ОСТ 92-1586-89 Краски маркировочные. Общие требования к выбору, приготовлению и нанесению. -
ОСТ 92-1615-74 Полупроводниковые Приборы и микросхемы. Меры
защиты от статического электричества.
ОСТ 92-3888-85 Ножницы монтажные. Конструкция и размеры.
ОСТ 92-3889-85 Нож монтажный. Конструкция и размеры.
ОСТ 92-3890-85 Пинцеты монтажные. Конструкция и размеры.
ОСТ 92-4662-85 Автоматизированная система контроля элементных средств. Назначение, состав и технические характеристики.
ОСТ 92-4757-87 Автоматизированная система контроля элементных средств. Правила эксплуатации.
ОСТ 92-8605-2000 Помещения производственные для изготовления микроэлектронных изделий и печатных плат. Общие требования.
ОСТ 92-9461-81 Устройства контактные для подключения диодов, транзисторов и микросхем. Типы, конструкция, размеры и технические требования.
ОСТ В 11.0398-87 Микросхемы интегральные. Общие технические условия.
ОСТ В II.073.012-87 Микросхемы интегральные. Специальные общие технические условия.
ОСТ В II.073.041-82 Микросхемы интегральные. Общие технические условия. 1
ОСТ В 11.073.067-82 Микросхемы интегральные бескорпусные.
Общие технические условия.
ОСТ В II.091.173-77 Изделия электронной техники с индексом ОС.
Общие требования к обеспечению и контролю качества и правила приемки. • • * ■ '•« - ... .
OCT 92-4488-2000
® OCT В ІІ.336.0І8-Й Приборн полупроводниковые бескорпусные.
Л ОСТ 57-1-78 Пента бумажная для печатающих устройств. Техни­ческие условия.
РД 92-0249-89 Методические указания. Порядок проведения работ пометрологическому обеспечению нестаидартизованных средств иэме-
рений. . Л ‘ ;.
У--. РД 92-0256-89 Методические указания.Организация складского > хозяйства. ; '
РД 92-0290-90 НормаТивы. Порядок нормирования расхода этило- ' / ■ - /■ • - ::: вого спирта. / «
, ; / И 50-680-88 .Методические указании. .Автомаявированвае симе- г -* • „ . 1 . ' и ' . М ’ • . >••<••• --■■ ■
І рИш#" ЯЛлЯЇЧгЛФЦЖЧ* •. ЛЛМ*Л4Кл*М^ОЛг*.< ■ ;/V. ...... 1..;^ '' •
ТУ $-3-1210*78 Микроскопы стереоскопические МБС-2, МБС-9. Технические условия.
ТУ 6*15-433-78 Клей силикатный конторский. Технические условия.
ТУ 17*15-07-89 Кисти художественные^ и для клеения. Общие -■’^^теяйиеские..;^^ ■
ТУ 17-626-79 Лента склеивающая ЛТ. Технические условия. . ТУ 25-1801*205-86 Часы электрические первичные. Общие техяи* ' адсяже условия. ■' ’ д-'Л . <.€'■■>
t ту 38,401-67-108-92 Бензин-растворитель для резиновой промыш­ленности. Технические условия. *
ЦДК 92-004-88 'Методические рекомендации. Система управления качеством труда. Основные положения.
[у -
- 5 ’ .■■. 1 ' ' ■ .■' ..1 ■ у„: :" ■ ;>л л , '< y ' ■"
З Обозначения и сокращения К
г . • • <- ... . ; ■ ■ ■ -г ■■ ' ■ ■. • --В-
В настоящем стандарте использованы ел едущие обозначения и сокра­щения:
ИС - интегральные микросхемы
ПП - полупроводниковые приборы
< ОТУ -общие технические условия ‘
ТУ - технические условия ■
РЭС - радиоэлектронные средства
КИА - контрольно-измерительная аппаратура
АСВК - автоматизированная система входного контроля
ДСКЭС - автоматизированная система контроля элементных средств
ДНК - диагностический неразрушающий контроль
ЭВМ - электронно-вычислительная машина
. ЭРЭ - электрорадиоэлементы •
ОТК - отдел технического контроля
4 Технические требования
4.1 Общие технические требования ' ' ■ •*
4.1.1 Входной контроль ИС и ПП должен производиться в соответ­ствии с требованиями ГОСТ 24297, [I] » ГОСТ'В 22468, ГОСТ-РВ ДГ030 ОСТ В П.073.012 . ОСТ В П.073.067 .ОСТ В П.073.041. ;’ Орт в в.0398 г ОСТ В П.336.018 . технических условий на ИС й ПП.
••...*■ • ' » “ «.*.*.-»■. . . «і'
. .. "-Н,- .. ■ 'ГА.. ' .. ■- у. , ■ - '
.. .. . , ; ” ' .. . ' . ' ■: - -.....-і- ■' 'Л'.... 1 . . - , ' >.■ Z . ' Л.'-'', ■
1.1.2 Внешний вид,габариту размеру.маркировка завода-поставщика ИС йли ПП должны соответствовать требованиям ТУ на ИС и ПП,описанию внешнего Вида образцов и чертежу.
1.1.3 ИС и ПП долкны подвергаться сплошному или выборочному вход- ному контролю. ■
1.1.4 Распакшвьмие ИС и ПП из тары завода^поставщика должно со- ответствовать ОТУ.ТУ на ИС и?ПП.
1.1.5 Перечень ИС й ЙІ й-объем контроля должны соответствовать перечню входного'контрол? по BQCT 24297 и ОТУ.ТУ на ИС и ПШ
1.1.6 Увеличение объемов контроля ИС и ПП,проведение дополнитель­ных испытаний, не вреду смотренных ОТУ,ТУ, должно быть согласовано пред- приятиями-разработчиками РЭС с головной организацией Поставщика и Цен­тральным бюро по применению ИС Ц ПП . . Г .
1.1.7 Производственные помещения для входного контроля должны соответствовать ГОСТ 12.1.005,ОСТ 92-8605,ОСТ 92-1615. і
1.1.8 Контроль качества ИС и ПП в процессе входного контроля должен соответствовать ГОСТ В 18347,.МДК.92-004,ОСТ ВП.091.173.
■У- 4.2 Требования к обращению с ИС и ПП ї І
1.1.1 Во всех случаях,когда позволяет конструкция тары,контроль внешнего вида и измерение электрических параметров бескорпусных ИС и ПП должны производиться без извлечения их из тары завода-поставщика/ 4 fr 4.2.2 Время вскрытия влагозащитной или герметичной упаковки бес- I корпусных ИС и ПП и нахождения их на технологических операциях вход­ного контроля должно быть указано в ведомости регистрации времени вскрі тин бескорцусных ИС и ПП на входном контроле.
Форма ведомости приведена в приложении А. .
4.2.3 При входном контроле не допускаются:
• повреждение корпуса и выводов ИС и ПП;
• нарушение маркировки и покрытий ИС и ПП;
• попадание на поверхность ИС и ПП пыли,жиров и других загрязне­
ний
4.2.4 Технологические операции входного контроля ИС и ПП должны производиться с применением антистатического браслета в соответствии с ОСТ 92-1615.
4.3 Требования к КИА., технологическому ’оборудованию, инструменту
4.3Л КИА должна соответствовать конструкторско-эксплуатацион­ной документации и обеспечивать измерение электрических параметров, установленных в ТУ на, конкретную серию- и тип ИС и ПП.
4.3.2 КИА и технологическое оборудование должны быть аттестова­ны и паспортизованы в соответствии с РД-92-0249’.. и эксплуатационной документацией на КИА.
4.3.3 Допускается применение КИА разработки главного конструкто­ра РЭА или стандартной КИА,не указанной в ТУ на ИС и ПП,согласованной с разработчиком ТУ на ИС и ПП.если ее схемы измерения не соответству­ют ТУ. ' *■' •'

OCT 92-4468-2000 •
• '■ <■>! ■ * ? ' ' ■ •' ",
4.3.4 Технологическое оборудование должно периодически прове­ряться в соответствии с графиками перепроверки, утвержденными Главным инженером предприятия. Сроки перепроверки