ГОСТ Стандарт

ГОСТ 22025-76

Сплавы кремниевые резистивные. Технические условия

2 242 просмотров

Кратко

Цей документ є міждержавним стандартом (ГОСТ), що встановлює технічні умови на резистивні кремнієві сплави для електронної техніки. Він регламентує вимоги до хімічного складу, гранулометричного складу порошків, їх фізичних властивостей та методів приймання продукції. Стандарт призначений для виробників та споживачів компонентів мікроелектроніки.

Что сделать

Спеціалісту з ОП слід звернути увагу на вимоги до безпечного поводження з порошковими матеріалами (запобігання пилоутворенню та вдиханню) під час проведення робіт з вакуумно-термічного напилення. Необхідно забезпечити контроль за дотриманням технологічних параметрів та використання засобів індивідуального захисту при роботі з хімічними речовинами та дрібнодисперсними порошками.

Темы

Касается профессий

інженер-технолог оператор вакуумно-термічного напилення фахівець з охорони праці лаборант хімічного аналізу

Скачать документ

Формат .docx · доступно зарегистрированным пользователям

Войти и скачать

Текст документа

ГОСТ

Технические условия
Resistive silicon allons.
Specifications
22025-76*
* *
Взамен

ТОСТ 5.1672—72

ОКП 63 9962
Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР
от 06.03 1976 г. № 1900 срок введения установлен
Проверен в 1982 г. Постановлением Госстандарта от 27.12.82 № 5109 срок действия продлен
Несоблюдение стандарта преследуется по закону
Настоящий стандарт распространяется на резистивные крем- . ниевые сплавы, предназначенные для изготовления методом вакуумно-термического нанесения термостабильных, тонкопленоч­ных резистивных элементов и различных вспомогательных слоев изделий электронной техники.

1. МАРКИ

1.1. Резистивные кремниевые сплавы выпускают следующих ма­рок: PC-5406, PC-5402, PC-4800, PC-4400, PC-3710, РС-3001, PC-1714, РС-1004.
1.2. Химический состав резистивных кремниевых сплавов дол­жен соответствовать указанному в табл. 1.

* Переиздание август 1983 г. с Изменением № 1, утвержденным в марте 1983 г.
Постановлением № 5110 от 27.12.82 (ИУС № 4—83).
© Издательство стандартов, 1983
Химический состав, % по массе
Основные компоненты

1.3. Условное обозначение резистивных кремниевых сплавов при заказе и в технической документации должно состоять из слова сплав, марки (сокращенного обозначения резистивного сплава и четырех цифр: две первые цифры — номинальное содер­жание одного легирующего компонента, а две последующие — номинальное содержание другого легирующего компонента) номе­ра фракции и обозначения настоящего стандарта.
Пример записи резистивных кремниевых сплавов:
Сплав РС-4800 Фр. 1 ГОСТ 22025—76
1.4. 1.3. (Измененная редакция, Изм. № 1).
2. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ к
2.1. Резистивные кремниевые 'сплавы должны изготовляться в соответствии с требованиями настоящего стандарта по техниче­ской документации, утвержденной в установленном порядке.
2.2. Резистивные кремниевые сплавы выпускают в виде порош-, ков темно-серого или бурого цвета с размерами частиц:
не более 0,040 мм — для фракции 1;
от 0,040 до 0,071 мм — для фракции 2; і
от 0,094 до 0,140 мм (только для марки РС-3710)—для фрак­ции 3.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.3. Количество порошка резистивных кремниевых сплавов (гранулометрический состав) с размерами частиц, выходящими за пределы, указанные в п. 2.2, не должно превышать 5% от мас­сы навески, взятой от средней пробы.
2.4. Порошки резистивных кремниевых сплавов не должны содержать посторонних включений.
2.5. Время истечения порошка резистивного кремниевого спла­ва, заключенного между верхней и нижней отметками воронки (черт. 1), не должно превышать:
60 с — для фракции 1;
35 с — для фракции 2;
30 с — для фракции 3.
Время истечения порошка марки РС-4800 1-й фракции не дол­жно превышать 50 с.
Время истечения порошка сплава марки РС-1714 не устанавли­вают.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
2.6. Порошок резистивного кремниевого сплава марки РС-1714 должен смачиваться этиловым ректификованным спиртом по ГОСТ 18300—72, образуя однородную суспензию.
2.7. Данные о физических и электрических параметрах резис­тивных кремниевых сплавов в объемном состоянии и в виде пленки приведены в справочном приложении 1.
2.8. Область применения и методы нанесения резистивных крем­ниевых сплавов даны в рекомендуемом приложении 2.

3. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ (

3.1. Резистивные кремниевые сплавы предъявляют к- приемке партиями. В партию входит сплав одной марки, полученный от одного или нескольких технологических циклов при одном техно­логическом режиме.
Масса партии не должна превышать 10 кг.

3.2. Каждую партию резистивных кремниевых сплавов под­вергают приемо-сдаточным испытаниям для проверки соответст­вия химического состава, сыпучести и смачиваемости требованиям настоящего стандарта.
Содержание кремния определяют только в
случае изменений в технологическом процессе Воронка для определе- их производства. В остальных случаях содер-ния времени истечения жание кремния определяют как разность меж-порошков резистивных
ду 100% химического состава сплава и сум­мой содержания остальныхопределяёмых ком­понентов сплава, выраженную в процентах.
Размеры частиц определяют выборочно на одной из пяти партий.
Проверку сплавов на'содержание примесей проводят по требованию предприятия-потреби­теля.
3.3. Все испытания резистивных кремние­вых сплавов проводят на средней, пробе от каждой партии.,
3.4. При получении неудовлетворительных результатов хотя бы по одному из показате­лей проводят повторную проверку новой про­бы, взятой от той же партии сплава. Резуль­таты повторных испытаний являются оконча­тельными и распространяются на всю партию.
1.1.1. Среднюю пробу отбирают в боксе, исключая загрязнения и потери порошка.
1.1.2. Всю партию порошка высыпают в квадратный противень из нержавеющей ста­ли, который предварительно выстилают поли­этиленовой пленкой по ГОСТ 10354—73, вы­мытой дистиллированной водой по ГОСТ 6709—72 и протертой этиловым спиртом по ГОСТ 18300—72.
Порошок перемешивают методом «кольцо на конус» стальным хромированным шпателем и распределяют по поверхности про­тивня ровным слоем, после чего делят на 25 равных квадратов и отбирают порошок по всей толщине слоя из 13 квадратов в шахматном порядке примерно одинаковыми порциями.
Масса отобранного порошка должна быть не менее 110 г.
Из отобранного порошка приготовляют следующие пробы: 50 г для проверки гранулометрического состава, 20 г.для определения
времени истечения Порошка, две примерно равные по массе про­бы из оставшейся части порошка — одну для химического ана­лиза, другую для хранения в течение гарантийного срока на слу­чай проведения арбитражных испытаний при возникновении раз­ногласий при оценке качества порошка.'
Все пробы засыпают в двойные пакеты из полиэтиленовой пленки, предварительно протертые этиловым спиртом. Последние две пробы заваривают герметичным швом.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
1.1.3. Между Пнутренними и наружными пакетами вкладыва­ют этикетку, на которой указывают:
номер цеха-изготовителя;
наименование сплава;
номер партии и пробы;
размер частиц порошка;
массу пробы;
дату отбора пробы (месяц, год). *
4.2. Определение гранулометрического состава Испытания проводят на контрольных ситах с металлическими проволочными сетками из: нержавеющей стали 0040К для фракции 1, 0040К и 0071К для фракции 2 (по нормативно-технической доку­ментации, утвержденной в-установленном порядке) и 009К (по ГОСТ 3584—73) и 014К для фракции 3,. установленных на вибро- встряхиватель (частота вибрации 1500—3000 колебаний в минуту, амплитуда вибрации 0,1—0,2 см).
Навеску порошка массой (50±0,1) г просеивают в течение 20 мин через сито с сеткой 0040К для сплавов 1-й фракции или через набор сит с сетками 0040К и 0071 К, 009К и 014К для спла­вов фракции 2 и 3 соответственно.
Количество порошка, оставшегося на сите с сеткой 0040К для сплава фракции 1, или суммарное количество порошка, оставшегося на сите с сеткой 0071К и прошедшего через сито с'сеткой 0040К для сплавов фракции 2, и оставшегося на сите с сеткой 014К и прошедшего через сито с сеткой 009К для сплавов фракции 3, не должно превышать 2,5 г.
Погрешность взвешивания должна быть не более 0,1 г.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
4.3. Определение содержания . посторонних включений » ..
Содержание посторонних включений кремниевых сплавов про­веряют визуально невооруженным глазом, а также при помощи микроскопа МБС-1 при шестнадцатикратном увеличении. -
4.4. Определ ен ие времени истечения порошка
4.4.1. Аппаратура, материалы:
шкаф сушильный вакуумный ВШ-0,035;
воронка из молибденового стекла марки С49-2 (см. черт. 1);
штатив лабораторный типа ШЛ;
секундомер СДПпр-1б-2 по ГОСТ 5072—79;
ацетон по ГОСТ 2603—79, ч.;
стакан типа ВН 100 по ГОСТ 10394—72;
ткань^хлопчатобумажная, арт. 325 по ГОСТ 7138—73.
„ (Измененная редакция, Изм. № 1).
4.4.2. Подготовка к испытанию
Воронку и стакан предварительно промывают ацетоном и протирают чистой тканью.
Воронку устанавливают в штативе в вертикальном положении по отвесу, под ней помещают стакан. Расстояние от воронки до стакана не должно превышать 30 мм.
4.4.3. Проведение испытания
Порошок из пакета высыпают в воронку выше верхней отмет­ки и засекают по секундомеру моменты прохождения поверх­ностью порошка верхней и нижней отметок.. Замеры времени по­вторяют не менее пяти раз. За результат измерения принимают среднее арифметическое результатов замеров.
Струя высыпающегося порошка должна быть непрерывной. Не допускается постукивать по воронке в момент проведения испы­тания.
4.5. Определение содержания хрома объемным персульфатносеребряным методом в сплавах марок PC-5406, PC-5402, PC-4800, PC-4400, РС-3710 И РС-3001
4.5.1. Сущность метода
Метод основан на окислении хрома надсернокислым аммонием в сернокислой среде до бихромат-иона в присутствии азотнокисло­го серебра. Бихромат-ион титруют солью Мора с фенилантранило­вой кислотой в качестве индикатора.
Относительная погрешность результата измерения должна быть не более 0,5%.
4.5.2. Реактивы, материалы:
чашка ПЛ 118—4 по ГОСТ 6563—75;
крышки типа «часовое стекло» из фторопласта-4 по ГОСТ 10007—80;
аммоний надсернокислый по ГОСТ 20478—75, х. ч.;
вода дистиллированная по ГОСТ 6709—72;
калий двухромовокислый, стандарт—титр, 0,1 н. раствор;
кислота азотная по ГОСТ 4461—77, х. ч.;
кислота серная по ГОСТ 4204—77, х. ч.;
кислота фтористоводородная по ГОСТ 10484—78, х. ч.;
марганец сернокислый по ГОСТ 435—77, ч. д.а., 0,4%-ный рас­твор ;
натрий углекислый кристаллический по ГОСТ 84—76, х. ч.;
натрий хлористый по ГОСТ 4233—77. х. ч., 5%-ный раствор;
серебро азотнокислое по ГОСТ 1277—75, х. ч., 1%-ный рас­твор;
соль закиси железа и аммония двойная сернокислая (соль Мора) по ГОСТ 4208—72, х. ч., 0,1 н. раствор; готовят следующим образом: 40 г соли Мора растворяют в 200 мл " воды, подкислен­ной 30 мл серной кислоты, и разбавляют водой до объема 1000 мл. Нормальность этого раствора устанавливают по 0,1 н. раствору двухромовокислого калия в день титрования образца;
кислота N-фенилантраниловая, ч. д. а., 0,2%-ный раствор; го­товят следующим образом: 0,2 г N-фенилантраниловой кислоты растворяют при умер